流量范圍:30-100 SLPM 最小流量范圍:30SLM
韓國萊因泰可( LINE TECH )原裝進口高精度氣體質量流量計/氣體質量流量控制器,廣泛應用于所有工業,氣體混合及分析 ,半導體工業,光纖,燃料電池,反應器系統,氣體的混合系統。產品設計堅固、耐用,且經濟。
優 勢:
l 測量質量流量
l 不需要溫度、壓力補償
l 緊湊的流量控制系統
l 高精度(±1%F.S)
l 耐高壓(90公斤)
l 量程范圍廣:30SLPM ~ 100SLPM 之間可選\
l 兩種輸入輸出信號:0~5Vdc or 4~20mA 可選
l 兩種供電方式:+15Vdc or +24Vdc 可選
l 電氣連接: 15 針(D型插頭)
l 快速響應時間兩種:< 1 秒 or <2秒 可選
l 高重復性(±0.25%F.S)
l 接頭方式多樣選擇:SWL: 1/4″、1/8″、3/8″
VCR : 1/4″
規 格:
型號
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M2100VA
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流量范圍(N2)
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30~100SLPM
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響應時間
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<1 秒
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精確度
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±1%
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重復精度
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±0.25%
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輸入輸出信號
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0~5Vdc
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供電
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+15Vdc or +24Vdc,350mA
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最大工作壓力
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15 Bar
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最大工作溫度
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0~50℃
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漏率
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1×10-9 atm.cc/sec
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控制范圍
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2~100%
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